電渦流位移傳感器基本原理
從轉子動(dòng)力學(xué)、軸承學(xué)的理論上分析，大型旋轉機械的運動(dòng)狀態(tài)，主要取決于其核心—轉軸，而電渦流傳感器，能直接非接觸測量轉軸的狀態(tài)，對諸如轉子的不平衡、不對中、軸承磨損、軸裂紋及發(fā)生摩擦等機械問(wèn)題的早期判定，可提供關(guān)鍵的信息。
根據法拉第電磁感應原理，塊狀金屬導體置于變化的磁場(chǎng)中或在磁場(chǎng)中作切割磁力線(xiàn)運動(dòng)時(shí)，導體內將產(chǎn)生呈渦旋狀的感應電流，此電流叫電渦流，以上現象稱(chēng)為電渦流效應。而根據電渦流效應制成的傳感器稱(chēng)為電渦流式傳感器。
電渦流位移傳感器系統中的前置器中高頻振蕩電流通過(guò)延伸電纜流入探頭線(xiàn)圈，在探頭頭部的線(xiàn)圈中產(chǎn)生交變的磁場(chǎng)。當被測金屬體靠近這一磁場(chǎng)，則在此金屬表面產(chǎn)生感應電流，與此同時(shí)該電渦流場(chǎng)也產(chǎn)生一個(gè)方向與頭部線(xiàn)圈方向相反的交變磁場(chǎng)，由于其反作用，使頭部線(xiàn)圈高頻電流的幅度和相位得到改變（線(xiàn)圈的有效阻抗），這一變化與金屬體磁導率、電導率、線(xiàn)圈的幾何形狀、幾何尺寸、電流頻率以及頭部線(xiàn)圈到金屬導體表面的距離等參數有關(guān)。
通常假定金屬導體材質(zhì)均勻且性能是線(xiàn)性和各項同性，則線(xiàn)圈和金屬導體系統的物理性質(zhì)可由金屬導體的電導率б、磁導率ξ、尺寸因子τ、頭部體線(xiàn)圈與金屬導體表面的距離D、電流強度I和頻率ω參數來(lái)描述。則線(xiàn)圈特征阻抗可用Z=F（τ，ξ，б，D，I，ω）函數來(lái)表示。通常我們能做到控制τ，ξ，б，I，ω這幾個(gè)參數在一定范圍內不變，則線(xiàn)圈的特征阻抗Z就成為距離D的單值函數，雖然它整個(gè)函數是一非線(xiàn)性的，其函數特征為“S”型曲線(xiàn)，但可以選取它近似為線(xiàn)性的一段。
于此，通過(guò)前置器電子線(xiàn)路的處理，將線(xiàn)圈阻抗Z的變化，即頭部體線(xiàn)圈與金屬導體的距離D的變化轉化成電壓或電流的變化，輸出信號的大小隨探頭到被測體表面之間的間距而變化，電渦流位移傳感器就是根據這一原理實(shí)現對金屬物體的位移、振動(dòng)等參數的測量。
按照電渦流在導體內的貫穿情況，傳感器可分為高頻反射式和低頻透射式兩類(lèi)，但從基本工作原理上來(lái)說(shuō)仍是相似的。
其工作過(guò)程是：當被測金屬與探頭之間的距離發(fā)生變化時(shí)，探頭中線(xiàn)圈的Q值也發(fā)生變化，Q值的變化引起振蕩電壓幅度的變化，而這個(gè)隨距離變化的振蕩電壓經(jīng)過(guò)檢波、濾波、線(xiàn)性補償、放大歸一處理轉化成電壓（電流）變化，終完成機械位移（間隙）轉換成電壓（電流）。由上所述，電渦流傳感器工作系統中被測體可看作傳感器系統的一半，即一個(gè)電渦流位移傳感器的性能與被測體有關(guān)
電渦流位移傳感器的工作原理
當被測體（金屬）靠近磁場(chǎng)，那么此被測金屬表面產(chǎn)生感應電流，這個(gè)電渦流又產(chǎn)生一個(gè)與頭部線(xiàn)圈方向相反的交變磁場(chǎng)，這個(gè)磁場(chǎng)的反作用，使頭部線(xiàn)圈高頻電流的幅度和相位產(chǎn)生線(xiàn)圈的有效阻抗，此變化與金屬被測體的磁導率以及線(xiàn)圈的幾何形狀、尺寸、頻率及頭部線(xiàn)圈到導體的距離這些參數有關(guān)。
通過(guò)前置器電路板的處理，把線(xiàn)圈阻抗的變化轉化成電壓或電流的變化，輸出信號的大小隨探頭到被測金屬表面間的距離而變化，電渦流位移傳感器就是根據此原理實(shí)現對金屬物體的位移、振動(dòng)等參數測量。也就是說(shuō)當被測金屬與探頭之間的距離發(fā)生變化時(shí)，探頭中線(xiàn)圈的電勢值也發(fā)生變化，電勢值的變化引起振蕩的電壓幅度變化，而這個(gè)位移變化的振蕩電壓經(jīng)過(guò)檢波和濾波、線(xiàn)性補償以及歸一處理，轉化為電壓、電流，終完成位移轉換成。因此在電渦流位移傳感器工作中，被測體也可視作渦流傳感器系統的另一半，即電渦流位移傳感器的性能是與被測體有很大關(guān)系的。
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